مقدمة: خط رش بالأشعة فوق البنفسجية مع حجرة PVD مدمجة مركزيًا لنقل داخلي سلس.
المزايا: تخزين مؤقت بسلسلة علوية/قرص دوار؛ أبواب حجرة أوتوماتيكية؛ زمن إيقاع متزامن.
مخطط العملية: التحميل ← منطقة الطبقة الأساسية ← منطقة UV ← دخول PVD تلقائي ← خروج تلقائي ← منطقة الطلاء العلوي ← UV ← التفريغ.
السعر التقديري: النظام المتكامل بطول 60–100 متر بسعر 170–560 ألف دولار.
الموردون الصينيون:
1. جيتيك——متخصصون في مزامنة الخط مع الحجرة. شاهد رسومات التخطيط وفيديوهات التشغيل في منشأتهمعرض دراسة الحالة.
2. Xinqinfeng / HCVAC.
